Terafab计划2027年获首台EUV光刻机 Terafab计划2027年中期获首台EUV光刻机。因工厂建设滞后,设备需提前数月存储,该厂将采用Intel 14A工艺及传统光源,预计2030年中期量产。 硬件 2026-10-14 12:30 5 阅读