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Gigaphoton推氖气回收系统，回收率达50%

Gigaphoton推出氖气回收系统，回收率达50%。该系统用于ArF激光器，旨在缓解因乌克兰供应中断引发的芯片供应链紧张，每年可减少470千升氖气消耗，助力降低生产成本并减少对外依赖。