# 朗道硅光

中国初创展示EUV光源原型，距商用光刻机尚远

清华校友创办的朗道硅光展示EUV光源原型，输出功率超15W。该设备仅为光刻机核心组件之一，距商用整机落地预计还需三到五年时间。