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KAIST研发导电MOF薄膜半导体门电极

KAIST研发出导电MOF薄膜半导体门电极。该材料功函数可调,单层薄膜即可同时控制n型和p型通道。经光刻无损图案化后,在多种半导体中验证有效,有望推动低电压、低功耗芯片发展。