Gigaphoton推氖气回收系统,回收率达50% Gigaphoton推出氖气回收系统,回收率达50%。该系统用于ArF激光器,旨在缓解因乌克兰供应中断引发的芯片供应链紧张,每年可减少470千升氖气消耗,助力降低生产成本并减少对外依赖。 硬件 2026-10-06 13:20 3 阅读